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21系列氣體質(zhì)量流量控制器
21系列標準型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性,并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬,0.01~100%滿量程

● 響應時間快,優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣

精度升級

量程為:0.5 SCCM -6000 SLPM

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度       ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復性                     ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃(從25℃開始)

                               ± 0.01%滿量程/ Atm(從校準壓力開始)

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃(從25℃開始)

                               ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm(從校準壓力開始)


技術(shù)指標

介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請參考氣體兼容表;一臺設備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量    程 :從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM(詳情請咨詢)

量程可控比(穩(wěn)態(tài)):0.01~100%滿量程

最大顯示流量 :128 %滿量程

最大可控流量:102.4 %滿量程

顯 示 屏:帶背光燈按鍵,標準為LCD黑白顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏

顯示方式:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度:±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)精度升級部分見左下角; ±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)(可選)

累計流量精度:流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復 性:±(0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移:0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移:±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準壓力開始)

控制響應時間:30ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào))

顯示響應時間:<10ms(與流量相關(guān))

預熱時間:<1s

默認標況(STP):25 ℃&1Atm(其它標況可調(diào))

工作溫度:-10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)

溫度精度:± 0.75℃

工作濕度:0 ~ 95 %,無冷凝

最大工作壓力:1 MPa表壓

最低操作壓力:如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80KPa以上使用;其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度:±0.5%讀數(shù)(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

滿量程壓損 v參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率 :數(shù)字信號40Hz@19200波特率;

模擬信號:1000Hz

屏幕刷新頻率:10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號:RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號:0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度: 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓:12-30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )

供電電流:250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢); 額外加 40 mA( 4 - 20 mA)

電氣接口: DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏):選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì):302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷;R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接:標準為NPT內(nèi)螺紋,詳情參考壓損表

安裝位置:小閥門無要求,R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級: IP40(IP66可選)

認    證:ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)


選項配件

●  標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法 
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保


●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體(最多4種)
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制


應用及案例

● 大學/研究所                ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜           ● 工業(yè)爐窯

● 半 導   體                     ● 汽車制造

● 光       伏                      ● 燃料電池

● 計量校準                      ● 過程工藝氣體測量


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