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● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程

● 響應時間快，優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量程為：0.5 SCCM -6000 SLPM

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度       ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                     ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

                               ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

                               ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準壓力開始）

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表；一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程 ：從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（詳情請咨詢）

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）：0.01～100%滿量程

最大顯示流量 ：128 %滿量程

最大可控流量：102.4 %滿量程

顯 示 屏：帶背光燈按鍵，標準為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度：±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角； ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）

累計流量精度：流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復 性：±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移：0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移：±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間：30ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應時間：＜10ms（與流量相關(guān)）

預熱時間：＜1s

默認標況（STP）：25 ℃&1Atm（其它標況可調(diào)）

工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度：± 0.75℃

工作濕度：0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力：1 MPa表壓

最低操作壓力：如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度：±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損 v參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率 ：數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率：10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度： 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓：12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流：250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）; 額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口： DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)：302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷；R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接：標準為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表

安裝位置：小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級： IP40（IP66可選）

認    證：ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

●  標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法 
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制

● 大學/研究所                ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜           ● 工業(yè)爐窯

● 半 導   體                     ● 汽車制造

● 光       伏                      ● 燃料電池

● 計量校準                      ● 過程工藝氣體測量