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● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

●  可測(cè)范圍廣，0.01~100%滿(mǎn)量程

●  響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)：內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面；一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量    程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請(qǐng)咨詢(xún)）

測(cè)量范圍：0.01～100%滿(mǎn)量程

最大顯示流量：128 % 滿(mǎn)量程

顯 示 屏：帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式 ：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度：± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程）精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角

              ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程）（可選）

累計(jì)流量精度： 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性：± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿(mǎn)量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移：0.02%滿(mǎn)量程/ ℃（從25℃開(kāi)始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移：±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿(mǎn)量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

響應(yīng)時(shí)間：優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）  

預(yù)熱時(shí)間 ：< 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）：25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度： -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度：± 0.75 ℃

工作濕度： 0 ～ 95%，無(wú)冷凝

最大工作壓力：1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

最低操作壓力 ： 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度： ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進(jìn)出口壓差 ：0.5MPa

滿(mǎn)量程壓損：參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率：數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率：10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào) ：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào) ：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度： 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿(mǎn)量程誤差

供電電壓：9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流：40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口：DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)：302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過(guò)程連接：詳情參考?jí)簱p表

安裝方式：對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí)： IP40

認(rèn)    證 ： ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程（取最大值）

重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿(mǎn)量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿(mǎn)量程 / ℃（從 25 ℃開(kāi)始）

± 0.01% 滿(mǎn)量程 / Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從 25 ℃開(kāi)始）

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

●  標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無(wú)需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測(cè)量從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過(guò)高或過(guò)低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍

●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測(cè)
●  環(huán)境監(jiān)測(cè)                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體
●  汽車(chē)制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計(jì)量校準(zhǔn)
●  過(guò)程工藝氣體測(cè)量