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MC100標(biāo)準(zhǔn)型流量控制器
最小流量:0.1SCCM
最大流量:5000SLPM
MC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒(méi)有觸摸式顯示屏,通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法,在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼,使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能。內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置,數(shù)字式和模擬式的通訊方式,實(shí)現(xiàn)流量的精確測(cè)量和控制。
特征

● 原理:層流壓差式流量控制器

● 精度:±1.0%設(shè)定值精度

● 高重復(fù)性:±0.2%F.S.

● 寬溫度、壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

● 可選模擬信號(hào)、數(shù)字信號(hào):(0~5)V、RS485傳輸方式方式

● 提供:上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息

使用條件

● 兼容內(nèi)置:49種氣體和可編輯的混合氣體

● 工作流量范圍:1%~120%F.S.

● 介質(zhì)溫度:-20℃~50℃

● 環(huán)境溫度:-20℃~50℃

● 使用濕度:0%~98%(無(wú)冷凝)

● 最大工作壓力:1Mpa

● 耐壓:1.5Mpa

● 供電電壓:﹢(18~30)VDC

● 消耗電流:<150mA (供電電壓為24v時(shí)) <300mA(<5V)

● 安裝方式:無(wú)指定(任意角度)

規(guī)格型號(hào)

● PIPG-MC101(微流量)

PIPG-MC101-00-0500  |  0.5 SCCM

PIPG-MC101-01-0001  |  1 SCCM

PIPG-MC101-01-0002  |  2 SCCM

PIPG-MC101-01-0005  |  5 SCCM

PIPG-MC101-01-0010  |  10 SCCM

PIPG-MC101-01-0020  |  20 SCCM

● PIPG-MC102(小流量)

PIPG-MC102-01-0050  |  50 SCCM

PIPG-MC102-01-0100  |  100 SCCM

PIPG-MC102-01-0200  |  200 SCCM

PIPG-MC102-01-0500  |  500 SCCM

PIPG-MC102-01-1000  |  1000 SCCM

PIPG-MC102-01-2000  |  2000 SCCM

● PIPG-MC120(中流量)

PIPG-MC120-02-0005  |  5 SLPM

PIPG-MC120-02-0010  |  10 SLPM

PIPG-MC120-02-0020  |  20 SLPM

PIPG-MC120-02-0050  |  50 SLPM

PIPG-MC120-02-0100  |  100 SLPM

PIPG-MC120-02-0200  |  200 SLPM

● PIPG-MC150(大流量)

PIPG-MC150-02-0500  |  500 SLPM

PIPG-MC150-02-1000  |  1000 SLPM

PIPG-MC150-02-1500  |  1500 SLPM

PIPG-MC150-02-2000  |  2000 SLPM

PIPG-MC150-02-3000  |  3000 SLPM

PIPG-MC150-02-4000  |  4000 SLPM

PIPG-MC150-02-5000  |  5000 SLPM

應(yīng)用領(lǐng)域

● 鍍膜設(shè)備

濺射鍍膜設(shè)備中的流控器件

● 光伏設(shè)備

光伏行業(yè)集成設(shè)備中的流控器件

● 熱噴涂設(shè)備

熱噴涂過(guò)程的流量控制

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