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●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優(yōu)于0.5 %讀數(shù)

●  量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

●  滿量程超低壓損最低為480 Pa

●  閥門響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度       ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度          ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性                        ±（0.1%   讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類 : 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表；一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比：0.5～100%滿量程

最大顯示流量：128 %滿量程            

最大可控流量：102.4 % 滿量程

顯  示  屏：帶按鍵背光開(kāi)關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度：±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）  精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角

                 ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度：流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重  復(fù)  性：±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移：0.03%滿量程/ ℃（從25℃開(kāi)始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移：±（0.08 % 讀數(shù)+ 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

控制響應(yīng)時(shí)間（T63，用戶可調(diào)）：小閥門：30 ms；R閥門：150 ms

顯示響應(yīng)時(shí)間：127 ms（用戶可調(diào)）            

預(yù)熱時(shí)間：＜ 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）  

閥門功能：常閉型

工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度：± 0.75 ℃                        

工作濕度：0 ～ 95 %，無(wú)冷凝

最大工作壓力：0.3 MPa表壓，進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

最低操作壓力：如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度：± 0.75 %讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損：參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率： 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率：10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度：在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓：12 - 30 VDC 

供電電流：250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（4-20 mA）

電氣接口：DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)：302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金、R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過(guò)程連接：詳情參考?jí)簱p表

安裝位置：小閥門無(wú)要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí)：IP40

認(rèn)    證：ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

●  低溫容器檢測(cè)

●  大學(xué)/研究所

●  泄漏檢測(cè)

●  環(huán)境監(jiān)測(cè)

●  汽車制造

●  過(guò)程工藝氣體測(cè)量